شرکت ریز مقیاس آژینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از آن برای انجام چند بخش از فرایند لیتوگرافی به صورت یکپارچه استفاده می شود. این دستگاه علاوه بر اسپین، دارای پیش پخت، پخت پسین و نوردهی نمونه است. قابل استفاده به شکل دستی و نیمه اتوماتیک است. یکپارچه کردن تجهیزات لازم برای لیتوگرافی نظیردستگاه اسپینر و هیتر و سیستم نوردهی بدون سامانه انطباق منجر به صرفه جویی در زمان و هزینه هنگام انجام فرایند لیتوگرافی می شود. همچنین دو بخش اسپین کردن و پخت در یک محفظه ایزوله شده از محیط انجام می شود و درنتیجه میزان آلودگی رزیست روی نمونه بسیار کاهش می یابد.
دقت دستگاه 2 میکرون است.

جدول مشخصات فنی

نوع مشخصه مقدار کمی مشخصه
مشخصات فنی مربوط به سیستم لیتوگرافی
ابعاد نمونه 1-2-3 inch
ابعاد ماسک 1-2-3 inch
مشخصات منبع نور طول موج  

365–400nm

توان UV-100
ابعاد بیم 4 inch
Minimum Feature size 2µm
مکانیزم نگهداری ماسک Pneumatic
مکانیزم نگهداری نمونه Auto
زیرساخت ضد لرزش Damping base
مشخصات فنی مربوط به سامانه پوشش دهی و پخت
ابعاد نگهدارنده نمونه 1-2-4 inch
سرعت چرخش دستگاه اسپینر مینیمم 500 (rpm)
ماکزیمم 800 (rpm)
Ramp Step 3 مد متفاوت
دمای مورد نیاز برای

Soft Bake

60-110 0C
دمای مورد نیاز برای

Hard Bake

80-150 0C
Dry pump Mbar
Process control Manual/ semi auto

دستورالعمل استفاده و نگهداری

  • فرآیند لیتوگرافی حتما باید در اتاق تمیز انجام شود.
  • هنگام قرار دادن نمونه و یا ماسک در داخل دستگاه اسپینر و یا محفظه نوردهی حتما از دستکش استفاده شود و از کثیف شدن محفظه داخلی به هر طریقی جلوگیری شود.
  • فضای داخلی دستگاه اسپینر بعد از هربار اسپین کردن با آغشته کردن استون به پدهایی بدون پرز تمیز شود.
  • قبل از نوردهی و همچنین اسپین کردن اطمینان حاصل شود که پمپ دستگاه روشن است و نمونه در نگهدارنده قرار گرفته است.

ایمنی و بسته‌بندی

  • هنگام نوردهی حتما از عینک محافظ اشعه فرابنفش استفاده شود و به هیچ عنوان به اشعه نور خیره نشوید.
  • هنگام کار با دستگاه لباس، موها و یا دست ها را از قسمتهای اتوماتیک مکانیکی دور نگه داشته شود..
  • از خیس شدن قسمت های الکتریکی دستگاه جلوگیری شود.
  • هنگامی که گرم کننده (هیتر) دستگاه داغ است، از جابجایی دستگاه خودداری شود.
  • برای قراردادن نمونه و یا برداشتن نمونه از روی گرم کننده حتما از پنس استفاده شود.