دستگاه لیتوگرافی و تولید ماسک به روش کوچک سازی یکی از پرکاربردترین دستگاه هایی است که در فرآیند لیتوگرافی استفاده می شود. زیرا رزولوشن ماسک های اپتیکی در بازار ایران حدود 30 میکرومتر است اما امروزه با پیشرفت نانوتکنولوژی در ایران ایجاد ساختارهایی با ابعاد 1 میکرومتر مورد نیاز است. در این دستگاه لنزهای اپتیکی بسیار دقیقی برای این کوچک سازی تعبیه شده است.
در این دستگاه از اشعه فرابنفش (UV) برای نوردهی استفاده می شود و دقت دستگاه 1 میکرون است.

Leave a Comment