شرکت ریز مقیاس آژینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از این دستگاه برای لیتوگرافی و به ویژه در کاربردهای خاصی که نیاز است الگوی مورد نظر را با لایه های قبلی تطبیق داد، استفاده می شود.

در ساخت اغلب ادوات نیمه هادی چندین لایه روی هم الگودهی می­شوند و درنتیجه چندین مرحله لیتوگرافی باید انجام شوند که الگودهی هر مرحله باید منطبق با الگوی پیشین باشد. در نتیجه دستگاه تطبیق ماسک علاوه بر سیستم نوردهی، بسیار ضروری است. برای ساخت ادوات MEMS لازم است زیر نمونه نیز دیده شود و تطبیق دوطرفه مورد نیاز است. دستگاه تطبیق ماسک دوطرفه از یک سیستم مکانیکی برای جابجایی نمونه با دقت میکرومتری و یک میکروسکوپ نوری برای مشاهده الگوی نمونه و ماسک از بالا و پایین تشکیل می­شود.

این دستگاه قابلیت تطبیق ماسک های اپتیکی از دو طرف را دارا است که برای ساخت ادوات MEMS ضروری می باشد. با تولید این دستگاه زمینه برای گسترش بازار ادوات MEMS در داخل کشور مهیا شده است.

در این دستگاه از اشعه فرابنفش (UV) برای نوردهی استفاده می شود و میکروسکوپ های دقیق در بالا و پایین نمونه برای تطبیق دو طرفه قرار دارند. دقت دستگاه 2 میکرون است.

جدول مشخصات فنی

نوع مشخصه مقدار کمی مشخصه
مشخصات فنی مربوط به سیستم لیتوگرافی
مدل های مختلف دستگاه MAB-110365 MAB-210405
ابعاد نمونه 1-2-3-4 inch 1-2-3-4 inch
ابعاد ماسک 1-2-4 inch 1-2-4 inch
مشخصات منبع نور طول موج 350–380nm 350–380nm
توان UV-100 UV-100
ابعاد بیم 4 inch 4 inch
Minimum Feature size 2µm 2µm
مکانیزم نگهداری ماسک سیستم خلا سیستم خلا
مکانیزم نگهداری نمونه Pneumatic-auto Pneumatic
زیرساخت ضد لرزش Damping base Damping base
روش تطبیق ماسک تطبیق ماسک از بالاو پایین تطبیق ماسک از بالاوپایین
مشخصات فنی مربوط به حرکت مکانیکی stage
دقت جابجایی stage 2µm 2µm
دقت جابجایی stage از پشت 20µm 20µm
بازه حرکت stage در محور x 7.5 mm ± 7.5 mm±
در محور y 7.5 mm ± 7.5 mm ±
در محور z 10 mm 10 mm
در زاویه 10 deg ± 10 deg  ±
مشخصات فنی مربوط به میکروسکوپ
Optical Scanning movement

XY(mm*mm)

100*80
TSA microscope stage (joystick) Full field

XY(mm*mm)

 

80*110

Lens Loop
scanning  speed (Joystick 1-5 mm/s
BSA microscope stage

(micrometer)

Full field

XY(mm*mm)

5*50
Max Magn. 40X
Optical Working distances 0.9-2 cm

دستورالعمل استفاده و نگهداری

  • فرآیند لیتوگرافی حتما باید در اتاق تمیز انجام شود.
  • هنگام قرار دادن نمونه و یا ماسک در داخل دستگاه حتما از دستکش استفاده شود و از کثیف شدن stage به هر طریقی جلوگیری شود.
  • قبل از نوردهی اطمینان حاصل شود که پمپ دستگاه روشن است و نمونه در نگهدارنده قرار گرفته است.

ایمنی و بسته‌بندی

  • هنگام نوردهی حتما از عینک محافظ اشعه فرابنفش استفاده شود و به هیچ عنوان به اشعه نور خیره نشوید.
  • هنگام کار با دستگاه لباس، موها و یا دست ها را از قسمتهای اتوماتیک مکانیکی دور نگه داشته شود..
  • از خیس شدن قسمت های الکتریکی دستگاه جلوگیری شود.
  • هنگامی که لامپ دستگاه داغ است، از جابجایی دستگاه خودداری شود.