شرکت ریز مقیاس آزینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از این دستگاه برای لیتوگرافی استفاده می شود. این دستگاه توانایی کپی کردن طرح یا الگوی موجود در ماسک با دقت بسیار بالا را روی نمونه دارد. دستگاه قابلیت لیتوگرافی ماسک با ابعاد متفاوت از 0.5 تا 4 اینچ را دارد.

 (UV) برای نوردهی استفاده می شود و دقت دستگاه 2 میکرون استدر این دستگاه از اشعه فرابنفش

 

 

جدول مشخصات فنی

جزئیات مشخصات فنی
نوع مشخصه مقدار کمی مشخصه
ابعاد نمونه 1-2-3 inch
ابعاد ماسک 1-2-3 inch
مشخصات منبع نور طول موج  

365–400nm

توان UV-100
ابعاد بیم 4 inch
Minimum Feature size 2µm
ابعاد نگهدارنده نمونه 1-2-4 inch

 

دستورالعمل استفاده و نگهداری

  • فرآیند لیتوگرافی حتما باید در اتاق تمیز انجام شود.
  • هنگام قرار دادن نمونه و یا ماسک در داخل دستگاه حتما از دستکش استفاده شود و از کثیف شدن محفظه داخلی به هر طریقی جلوگیری شود.
  • قبل از نوردهی اطمینان حاصل شود که پمپ دستگاه روشن است و نمونه در نگهدارنده قرار گرفته است.

ایمنی و بسته‌بندی

  • هنگام نوردهی حتما از عینک محافظ اشعه فرابنفش استفاده شود و به هیچ عنوان به اشعه نور خیره نشوید.
  • هنگام کار با دستگاه لباس، موها و یا دست ها را از قسمتهای اتوماتیک مکانیکی دور نگه داشته شود..
  • از خیس شدن قسمت های الکتریکی دستگاه جلوگیری شود.
  • هنگامی که لامپ دستگاه داغ است، از جابجایی دستگاه خودداری شود.