اسپین کردن فوتورزیست اولین مرحله فرایند لیتوگرافی است. مراحل پخت فوتورزیت های پلیمری از نظرکنترل دما وزمان پخت از اهمیت بالایی برخورداراست. لذا شرکت آژینه محصولی را ارائه داده است که به صورت نیمه اتوماتیک فرایند اسپین کردن وپخت هارا به صورت دقیق وکنترل شده انجام میدهد.

 

 

 

 

جدول مشخصات فنی

نوع مشخصه مقدار کمی مشخصه
ابعاد نمونه 1-2-3 inch
سرعت چرخش دستگاه اسپینر مینیمم 500 (rpm)
ماکزیمم 800 (rpm)
Ramp Step 3 مد متفاوت
دمای مورد نیاز برای

Soft Bake

60-110 0C
دمای مورد نیاز برای

Hard Bake

80-150 0C
Dry pump Mbar
Process control Manual/ semi auto

دستورالعمل استفاده و نگهداری

  • فرآیند لیتوگرافی حتما باید در اتاق تمیز انجام شود.
  • هنگام قرار دادن نمونه در داخل دستگاه حتما از دستکش استفاده شود و از کثیف شدن محفظه داخلی به هر طریقی جلوگیری شود.
  • فضای داخلی دستگاه اسپینر بعد از هربار اسپین کردن با آغشته کردن استون به پدهایی بدون پرز تمیز شود.
  • قبل از اسپین کردن اطمینان حاصل شود که پمپ دستگاه روشن است و نمونه در نگهدارنده قرار گرفته است.

ایمنی و بسته‌بندی

  • هنگام کار با دستگاه لباس، موها و یا دست ها را از قسمتهای اتوماتیک مکانیکی دور نگه داشته شود..
  • از خیس شدن قسمت های الکتریکی دستگاه جلوگیری شود.
  • هنگامی که گرم کننده (هیتر) دستگاه داغ است، از جابجایی دستگاه خودداری شود.
  • برای قراردادن نمونه و یا برداشتن نمونه از روی گرم کننده حتما از پنس استفاده شود.