دستگاه لیتوگرافی و تولید ماسک به روش کوچک سازی

دستگاه لیتوگرافی و تولید ماسک به روش کوچک سازی یکی از پرکاربردترین دستگاه هایی است که در فرآیند لیتوگرافی استفاده می شود. زیرا رزولوشن ماسک های اپتیکی در بازار ایران حدود 30 میکرومتر است اما امروزه با پیشرفت نانوتکنولوژی در ایران ایجاد ساختارهایی با ابعاد 1 میکرومتر مورد نیاز است. در این دستگاه لنزهای اپتیکی بسیار دقیقی برای این کوچک سازی تعبیه شده است. در این دستگاه از اشعه فرابنفش…

Read More

دستگاه لیتوگرافی رومیزی

    شرکت ریز مقیاس آزینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از این دستگاه برای لیتوگرافی استفاده می شود. این دستگاه توانایی کپی کردن طرح یا الگوی موجود در ماسک با دقت بسیار بالا را روی نمونه دارد. دستگاه قابلیت لیتوگرافی ماسک با ابعاد متفاوت از 0.5 تا 4 اینچ را دارد.  (UV) برای نوردهی استفاده می شود و دقت دستگاه 2 میکرون استدر این دستگاه…

Read More

دستگاه تطبیق ماسک دو طرفه

شرکت ریز مقیاس آژینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از این دستگاه برای لیتوگرافی و به ویژه در کاربردهای خاصی که نیاز است الگوی مورد نظر را با لایه های قبلی تطبیق داد، استفاده می شود. در ساخت اغلب ادوات نیمه هادی چندین لایه روی هم الگودهی می­شوند و درنتیجه چندین مرحله لیتوگرافی باید انجام شوند که الگودهی هر مرحله باید منطبق با الگوی پیشین باشد.…

Read More

سامانه پوشش دهي و پخت

اسپین کردن فوتورزیست اولین مرحله فرایند لیتوگرافی است. مراحل پخت فوتورزیت های پلیمری از نظرکنترل دما وزمان پخت از اهمیت بالایی برخورداراست. لذا شرکت آژینه محصولی را ارائه داده است که به صورت نیمه اتوماتیک فرایند اسپین کردن وپخت هارا به صورت دقیق وکنترل شده انجام میدهد.         جدول مشخصات فنی نوع مشخصه مقدار کمی مشخصه ابعاد نمونه 1-2-3 inch سرعت چرخش دستگاه اسپینر مینیمم 500 (rpm)…

Read More

دستگاه تطبیق ماسک یک طرفه

شرکت ریز مقیاس آژینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از این دستگاه برای لیتوگرافی و به ویژه در کاربردهای خاصی که نیاز است الگوی مورد نظر را با لایه های قبلی تطبیق داد، استفاده می شود. این دستگاه قابلیت تطبیق ماسک های اپتیکی از یک طرف را دارا است که داشتن سیستم مکانیکی دقیق برای جابجایی نمونه و میکروسکوپ های دقیق این امر را ممکن می…

Read More

دستگاه نیمه اتوماتیک لیتوگرافی کامل

شرکت ریز مقیاس آژینه، تنها تولید کننده این دستگاه در داخل کشور است. از آن برای انجام چند بخش از فرایند لیتوگرافی به صورت یکپارچه استفاده می شود. این دستگاه علاوه بر اسپین، دارای پیش پخت، پخت پسین و نوردهی نمونه است. قابل استفاده به شکل دستی و نیمه اتوماتیک است. یکپارچه کردن تجهیزات لازم برای لیتوگرافی نظیردستگاه اسپینر و هیتر و سیستم نوردهی بدون سامانه انطباق منجر به صرفه…

Read More